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离子氮化的工艺流程包括清洗、加热和氮化三个步骤。
1. 清洗
清洗是离子氮化的第一步,其目的是去除钢件表面的杂质和氧化物,以提高氮化反应的效果。钢件的清洗方式有多种,包括机械清洗、化学清洗和电化学清洗等。
2. 加热
加热是离子氮化工艺中至关重要的一步,它可以提高钢件表面渗透的深度。通常使用电阻炉或气氛炉进行加热,在保护气氛下进行。
3. 氮化
离子氮化是最关键的一步,也是最复杂的一步。其过程是将钢件置于含有氮离子的加速器内,经过氮离子的轰击后,钢件表面产生氮化层。离子氮化的过程温度一般在500°C-600°C之间,气氛选择规避氧气并添加NH3离子。