离子氮化的设备要求？

离子氮化需要较高精度的设备，主要包括离子源、真空系统、加速器和控制系统等。其中离子源和加速器是离子氮化设备的核心部件，其质量和稳定性决定了氮化层的均匀性和质量。为保证氮化质量，设备还需要有良好的真空系统，避免氧化反应发生。